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中微公司獲得實用新型專利授權(quán):“一種加熱結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體處理設(shè)備”

證券之星消息,根據(jù)天眼查APP數(shù)據(jù)顯示中微公司(688012)新獲得一項實用新型專利授權(quán),專利名為“一種加熱結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體處理設(shè)備”,專利申請?zhí)枮镃N202422039917.4,授權(quán)日為2025年9月9日。

專利摘要:本實用新型公開了一種加熱結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體處理設(shè)備,加熱結(jié)構(gòu)應(yīng)用于半導(dǎo)體處理設(shè)備中,半導(dǎo)體處理設(shè)備包括反應(yīng)腔和基座組件,基座組件位于反應(yīng)腔內(nèi),用于承載基片,加熱結(jié)構(gòu)包括:第一加熱組件,其設(shè)置在反應(yīng)腔內(nèi),且環(huán)繞基座組件設(shè)置;第二加熱組件,其設(shè)置在反應(yīng)腔內(nèi);第二加熱組件為分散光源,且環(huán)繞基座組件設(shè)置;調(diào)節(jié)第二加熱組件的豎直位置或者角度,以使第二加熱組件的輻射區(qū)域在基片的邊緣到中心之間變化。本實用新型提高了基片的加熱均勻性和加熱效率。

今年以來中微公司新獲得專利授權(quán)118個,較去年同期增加了28.26%。結(jié)合公司2025年中報財務(wù)數(shù)據(jù),今年上半年公司在研發(fā)方面投入了11.16億元,同比增96.65%。

通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司共對外投資了29家企業(yè),參與招投標(biāo)項目67次;財產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息98條,專利信息1539條,著作權(quán)信息13條;此外企業(yè)還擁有行政許可76個。

數(shù)據(jù)來源:天眼查APP

以上內(nèi)容為證券之星據(jù)公開信息整理,由AI算法生成(網(wǎng)信算備310104345710301240019號),不構(gòu)成投資建議。

中微公司獲得實用新型專利授權(quán):“一種加熱結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體處理設(shè)備”-有駕
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